Способ получения кремниевой реакционной массы, катализированной медью

 

Изобретение относится к получению кремнеземной реакционной массы в виде свободнотекущего порошка с содержанием меди менее 2%, используемого для получения метилхлорсиланов. Изобретение позволяет повысить эффективность реакционной массы в процессе получения метилхлорсилана. Смешивают тонкоизмельченные частицы кремния с частицами медного катализатора размером 2 - 5 мкм (2,7 мас.%) и нагревают смесь при 1000°С в течении 1 ч в атмосфере водорода.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (Я)4 С 01 В 33 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 2998452/23-26 (22) 23. 10.80 (31) 087798 (32) 24.10.79 (33) US (46) 30.11.89. Вюл. № 44 (71) Юнион Карбид Корпорейшн (US) (72) Джеймс Герберт Даунинг, Джеймс

Энок Велз III и Том Кайриакоу Иоанноу (US) (53) 546.28 (088.8) (56) Патент США ¹ 2380996, кл. 260-448.2, 194 1.

Изобретение относится к способам получения кремниевой реакционной массы, используемой в производстве метилхлорсиланов.

Целью изобретения является повышение эффективности реакционной массы в процессе получения метилхлорсилана за счет обеспечения содержания меди в ней 1,56 мас.% °

Пример. Смешивают в смесителе с двойной оболочкой 97,06 мас.ч частиц кремния (65x150 меш), 2.7 мас.ч меди цементного типа (равномерно оксидированной, содержащей 10,9% металлической меди, 43,9% Си<О, 43,9

СиО и 84,9%. общей меди) с размером

2-5 мкм и 0,24 мас.ч. цинковой пыли.

Смешанные порошки обрабатывают в

Ni-Cr вращающейся обжиговой печи диаметром 6-1/2 дюйма (15,24-1,27 см) „„SU„„1526580 А 3

2 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЕВОЙ РЕАКЦИОННОЙ MACCbl) КАТАЛИЗИРОВАННОЙ

МЕДЬЮ (57) Изобретение относится к получению кремнеземной реакционной массы в виде свободнотекущего порошка с содержанием меди менее 2%, используемого для получения метилхлорсиланов.

Изобретение позволяет повысить эффективность реакционной массы в процессе получения метилхлорсилана. Смешивают тонкоизмельченные частицы кремния с. частицами медного катализатора размером 2-5 мкм (2,7 мас.%) и нагрео вают смесь при 1000 С в течение 1 ч в атмосфере водорода. беэ непосредственного соприкосновения с дымовыми газами при следующих условиях: температура 1000 С, загрузка массы 1200 г/ч; выгрузка массы

1030 г/ч; загрузка печи 5,3 об.%; время пребывания 61 мин; поток Н

4800 см /мин; скорость газа 0,06 фут/с (0,018 м/с; Н .СиО = 30:1.

Полученную реакционную массу выгру жают из печи и подвергают анализу.

Масса, полученная в виде свободно текущего порошка, содержит 1,56 мас.7. меди, из которой 90% в форме сплава.

Полученную массу подвергают взаимодействию с метилхлоридом с получением метилхлорсиланов в реакторе кипящего слоя из углеродистой стали диаметром

1 дюйм (2,54 см) при 320 С. Производительность по метилхлорсилану соста1526580

Формула изобретения

Составитель Т.Чиликина

Редактор М.Циткина Техред М, Ходанич Корректор С.Черни

Заказ 7250/59 Тираж 435 Подпис ное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãîðoä, ул. Гагарина,101 вила 31, 1 г/ч, а коэффициент селективности равен 14.

В соответствии с прототипом эквивалентные результаты могли быть дос5 тигнуты лишь в том случае, если реакционная масса содержала 7Х меди.

Технико-экономические преимущества способа заключаются в том, что, в отличие от прототипа, где масса обра- 10 зуется в виде пористых спекшихся гранул, в данном способе получается свободно текущий порошок с меньшим в

3 5 раза содержанием меди, Катализированная медью кремниевая масса, полученная по предлагаемому способу, обладает также следующими преимуществами: по существу отсутствует индукционный период в процессе получения метилхлорсилановых мономеров1 тре 2р буется меньше медного катализатора; возможно достижение более высокой скорости реакции и более высокой избирательности; в полезные продукты переводится больше кремния. Кроме того, реакция получения метилхлорсиланов протекает более устойчиво и менее чувствительна к источнику медного катализатора.

Способ получения кремниевой реакционной массы, катализированной медью, используемой для производства метилхлорсилана, включающий смешение тонкоизмельченных частиц кремния и медного катализатора в количестве

2,7 мас.i! и нагревание смеси в атмосфере водорода, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения эффективности реакционной массы в процессе получения метилхлорсилана за счет обеспечения содержания меди в ней 1,56 мас.Х, частицы медного катализатора берут с размером 2-5 мкм о

1 а смесь нагревают при 1000 С.

Способ получения кремниевой реакционной массы, катализированной медью Способ получения кремниевой реакционной массы, катализированной медью 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к способу получения моносилана высокой степени чистоты, пригодного для формирования тонкопленочных полупроводниковых изделий, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения (полупроводниковая техника, солнечная энергетика)

Изобретение относится к области металлургии и может быть использовано при получении кремния

Изобретение относится к области химической технологии, в частности к получению силанов, и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния, а также полупроводниковых структур методами газовой эпитаксии

Изобретение относится к химической промышленности, в частности к устройствам для проведения гетерогенных процессов между твердым телом и газом
Изобретение относится к технологии получения моносилана, который может быть использован при получении особо чистого полупроводникового кремния
Изобретение относится к способу получения силана, применяемого в полупроводниковой промышленности
Изобретение относится к технологии получения полупроводникового кремния, а также к технологии формирования различных кремнийсодержащих слоев в микроэлектронике
Изобретение относится к технологии получения полупроводникового кремния, а также к технологии формирования различных кремнийсодержащих слоев в микроэлектронике

Изобретение относится к способу получения моносилана высокой чистоты и низкой стоимости, пригодного для формирования тонких полупроводниковых и диэлектрических слоев, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения
Наверх