Визуальный фотометр

 

180375

ОПИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советокил

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ, Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 20.Ч.1964 (№ 901347/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21,ill.1966. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 5Х.1966

Кл. 42h, 34/04

Комитет по делам иаабретвиий и открытий при Совете Министров

СССР

МГ1К G 02d

УДК 535.241.6:535.242. .611.088(088.8) Автор изобретения

О. А. Мотовилов

Заявитель

ВИЗУАЛЬНЫЙ ФОТОМЕТР

Визуальные фотометры для контроля толщины слоев в ультрафиолетовой области спектра методом трансформации, содержащие источники света, люминесцирующий экран и светофильтры для ультрафиолетовой области спектра, известны.

Предлагаемый фотометр отличается от известных тем, что в нем установлены: спектрозональные зеркала с высоким коэффициентом отражения, выделяющие области спектра

240 †: 280 mp,, 280 †: 330 тр и 330 †: 400 mp,; экран, разделенный на три сектора и люминесцирующий синим, зеленым и красным светом; поворотная призма Дове перед окуляром.

Это отличие позволяет повысить интенсивность рабочего потока и точность контроля толщины покрытий.

На вериг. 1 изображены три оптических канала, вид сверху; на фиг. 2 — один из оптических каналов в вертикальном сечении, разрез по А-А; на фиг. 3 — экран, вид сверху.

Свет от источника 1 УФ-радиации, например дуговой водородной лампы ВУ-1, проектируется кварцевой линзой 2 через светофильтр 3, отражающий видимую область спектра, с помощью отклоняющего плоского зеркала 4 на исследуемую поверхность б образца.

Далее изображение светящегося тела водородной лампы вогнутым спектрозональным зеркалом б, отражающим заданную длину волны, переносится на светящийся экран 7, который защищен кожухом (на чертеже не показан) от засвечивания посторонними источниками света, и вызывает свечение фосфора соответствующего сектора экрана своим цветом.

10 Экран представляет собой кольцо из трех равновеликих секторов 8, 9 и 10, покрытых фосфором и светящимися синим, зеленым и красным светом под действием падающих на них трех потоков, разделенных по спектру.

На поверхность образца спроектированы совмещенные интегральные УФ-изображения

11 источников. Спектрозональные зеркала с полосами отражения 240 —:280m, вызывают синее свечение, 280 —:330m, — зеленое, 20 330 —:440 mp — красное. При смешивании трех цветов вращением призмы 12 Дове получается кольцо, показанное штрихами на фиг. 3.

При «равновесии» излучений фосфора всех трех секторов цвет кольца становится белым, 25 что можно получить, изменяя потоки УФ-радиации с помощью ирисовых диафрагм 1,3, 14 и 1б.

Имеющий «цвет» просветленный образец нарушит «равновесие» излучений, светящееся

30 кольцо окрасится, и по его цвету можно су180375 дить о толщине просветляющего покрытия (цвет видно глазом 1б) .

Все три оптических канала фотометра расположены под углом 120 друг к другу.

Предмет изобретения

Визуальный фотометр для контроля толщины слоев в ультрафиолетовой области спектра методом цветной трансформации, содержащий источники света, люминесцирующий экран и светофильтры для ультрафиолетовой области спектра, отличающийся тем, что, с целью повышения интенсивности рабочего потока, в нем установлены спектрозональные зеркала с высоким коэффициентом отражения, выделяющие области спектра 240 —:280m@, 280 †: 330 тр и 330 †: 400 mp, экран, разделенный на три сектора, люминесцирующий синим, зеленым и красным светом, и поворотlo ная призма Доне перед окуляром.

Составитель И. И. Крайнова

Редактор Л. А. Ильина Техред А. А. Камышникова Корректоры: Л. Е. Марисич и Ю. М. Федулова

НИИ

Заказ 951/8 Тираж 850 Формат бум. 60><90

Ц ПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2