Патент ссср 193250

 

OllMCAH HE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социелистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48b, 13/08

Заявлено 19.Х.1964 (Ж 926266/22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 02,111.1967. Бюллетень № 6

Дата опуоликования описания 28.VI.1967

МПК С 23с

УД1 621,793.093.14.002. .54 (088.8) Комитет по делегат изобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ

Известны устройства для получения покрытий напылением в вакууме, в которых многослойное:покрытие получается за счет поочередного напыления различных материалов из испарителей, расположенных на карусели.

Для увеличения площади напыляемых элементов и количества образцов, изготовляемых за один цикл откачки. необходима подпитка испарителей соответствующими материалами по мере их расходования. Такие устройства содержат, кроме карусели с испарителями, питатели испарптелей, нагреватели и заслонки.

Описываемое устройство карусельного типа с периодической подпиткой испарителей в течение одного вакуумного цикла позволяет одновременно или последовательно напылять на изделие несколько различных материалов. Новым в нем является то, что питатели испарителей выполнены в виде барабанов с бункерами для испаряемых материалов, валы которых механически связаны с валами каруселей.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство в перспективе; на фиг. 2 — то же, в плане.

Устройство состоит из двух каруселей 1, двух питателей 2, которые крепятся на фланце 8, контактного приспособления 4 и заслонки 5.

Карусель представляет собой диск, укрепленный на полой водоохлаждаемой оси 5. На диске карусели расположены четыре испарптеля 7, обогреваемых спиралями, один конец которых через скользящий контакт 8 соединен с электрическим вводом, расположенным на фланце 8. Вал каждой карусели связан с валом питателя посредством шестерен 9, 10 и 11.

Это дает возможность каждому материалу попадать в свой испаритель, а также по положегппо привода карусели определять, испаре10 ние какого материала ведется в данный моментт.

Материал для подпитки поступает в испарители из бункера 12. Необходимое его количество регулируется отсекателем И, отжииаемым пружиной 14 под воздействием рычага 15.

Питатель приводится от электромагнита штоком 16, конец которого давит на рычаг 15, а последний толкает отсекатель. После выключения электромагнита рычаг 15 отжимается пружиной 14.

Изолированные электрические контакты 17 замыкаются пружиной 18, навитой на направляющую 19, и размыкаются электромагнитом.

Заслонка состоит из неподвижного листа 20 и сектора 21, в каждом из которых имеются по д ва отверстия.

В зависимости от поворота сектора, который через шестерни 22 и 28 связан с приводом, открывается или закрывается путь испа30 ряемому веществу.

193280

Предмет изобретения

Устройство для испарения в вакууме, содержащее карусели с испарителями, питатели испарителей, нагреватели и заслонки, отличаюи ееся тем, что, с целью одновременного или последовательного испарения нескольких материалов, питатели испарителей выполнены в виде барабанов с бункерами для испаряемых материалов, валы которых механически связаны с валами каруселей для обеспечения синхронности вращения каруселей и питателей.

Редактор Л. М. Струве

Составитель В. Зотов

Текред, Л. Бриккер

Корректоры: Е. Д. Френкель и А. М. Смак

Заказ 1748/! 9 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2