Способ нанесения алундового нокрытия

 

697О2О

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04.Ч.1966 (¹ 1074160j26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Кл. 2lg, 13 04-.

МПК Н 0Ц

УДК, 621.385.032.213.62 (088.8) Комитет по делам изобретекий и открытий при Совете Мииистрае

СССР

Опубликовано 31 V.1967. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 4ХП.1967

Авторы изобретения

Я. С. Савицкая, Л. А. Рябова и Н. Н. Творогов

Институт радиотехники и электроники АН СССР

Заявитель

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ АЛУНДОВОГО ПОКРЫТИЯ ния баллон заваривают и припаивают к вакуумной установке. При давлении 10 — 10 о мм рт. ст. отжигают подогреватели при температуре, превышающей на 200 С экспериментальную. По достижении вакуума 10 — 10-о мм рт. ст. этилат алюминия нагревают трубчатой печью до 180 С, Затем включают нагрев подложки (подогревателей) .

10 Оптимальные условия получения высококачественных пленок (толщиной 3 и с удельным сопротивлением "-10т- — 10 1 ом см- /лт) следующие: температура подложки 675 - 25 С, температура этилата алюминия 180 С, 15 время нанесения 20 мин. Электрическая прочность пленок близка к прочности покрытий толщиной 60 и, полученных одним из известных способов, 20

1. Способ нанесения алундового покрытия

25 на детали электронных приборов, например на подогреватели катодов, отличающийся тем, что, с целью снижения толщины покрытия и повышения его механической прочности, на деталь испарением в вакууме наносят алюми30 кийсодержащее органическое соединение и

Известны способы нанесения алундовых покрытий на подогреватели катодов электронных приборов путем электрофреза. Однако такие способы не позволяют получать покрытия малых толщин (=. 1р,) .

Предлагаемый способ нанесения алундового покрытия па детали электронных приборов, например на подогреватели катодов, отличается от известных тем, что на деталь испарением в вакууме наносят алюминийсодержащее органическое соединение и прогревают ее при температуре разложения соединения. При этом толщина покрытия снижается, а его механическая прочность повышается.

На деталь испарением в вакууме наносят, например, этилат алюминия и прогревают ее при температуре 675 + 25 С.

Установка для нанесения алундовых покрытий описываемым способом состоит из сосуда, в котором проводится реакция разложения этилата алюминия, и системы для создания вакуума P = 10 о мм рт. ст. В реакционный сосуд — стеклянный баллон емкостью -1 л ьварены молибденовые вводы, на которых крепятся подогреватели. Этилат алюминия помещают в отросток, расположенный в нижней части баллона и нагреваемый с помощью съемной трубчатой электропечи.

После закрепления на вводах подогревателей и помещения в отросток этилата алюмиПредмет изобретения

197020

Составитель Г. А. Жукова

Редактор Л. М. Жаворонкова Техред T. ll. Курилко Корректоры: В. В. Крылова и С. М. Белугина

Заказ 1945/1 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобрегений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д, 4

Типография, пр. Сапунова, 2 прогревают ее при температуре разложения соединения.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что на деталь испарением в вакууме наносят этилат алюминия и прогревают ее при температуре б75 + 25 С.