Патент ссср 193251

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

О П И С А Н И Е f93251

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

1 л. 48, 13/10

Заявлено 07.1 т .1966 (№ 1070066/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 02,lll.1967. Бюллетень № 6

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК С 23с

УДК 621,793.14: 621.771-426 (088.8) V,19б7 редкометаллической промышленности

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Известные устройстга,для нанесения однослойных н многослойных покрытий на поверхность изделий в вакууме содержат рабочие вакуумные камеры, испарители и транспортирующий механизм (тянущие ролики). В этих устройствах изделие в процессе нанесения покрытия транспортируется над поверхностью испарителя.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что нспарнтель выполнен в виде кольцевого тигля с укрепленным на нем отражающим экраном с отверстием. Это позволяет наносить равномерное покрытие на по верхность проволоки.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство. Оно выполнено в виде нескольких последовательно расположенных сообщенных между собой вакуумных камер, средние нз которых яьляются рабочими 1 и служат для нанесения покрытий на проволоку

2. В каждой из камер 1 установлены испарители, состоящие из нагревателя 3 и размещенного внутри последнего кольцевого тигля 4, на котором укреплен отражающий экран 5 с отверстием. В крайних камерах б и 7 расположен транспортирующий механизм.

Испаряехтое в вакууме вещество находится

13 тигле в расплавленном состоянии.

Проволоку с помощью транспортирующего механизма (тянущих роликов) протягивают B ьертикальпом направлении через внутреннее отверстие в кольцевом тигле.

Получение покрытия нз различных веществ (многослойного) на проволоке достигается тем, что проволоку протягтп ают через ряд последовательно расположенных кольцевых тиглей, загру>кенных различными веществами.

Реверснруя направление движения проволоки, непрерывно наносят на нее многослойное тонкопленочное покрытие нз различных веществ.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме путем последовательного испарения

20 одного нли нескольких веществ, включающее рабочие камеры, испарнтели и тянущие ролики, оТ.ò÷àþè1ååñÿ тем, что, с целью обеспечения более равномерного покрытия проволоки, испарнтечь выполнен в виде кольцевого тигля, снабженного отраукающнм экраном с отверстием для протягивання проволоки.

193251

Составитель Н. Комарова

Тсхрсд Л. Брнккер Корректоры: Е. Д. Френкель и А. М. Смак

Редактор М. Андреева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 866/17 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Похожие патенты:

Патент 193250 // 193250

Способ нанесения тонких пленок // 188256

Патент 187855 // 187855

Устройство для изготовления тонкопленочных // 187854

Устройство для металлизации в вакууме // 178635

Патент 172169 // 172169

Патент 161606 // 161606

Патент 154996 // 154996

Плавящий элемент для испарения металла в вакууме // 65570

Патент 58290 // 58290

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме