Зондовое устройство

 

(61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) ДаявлЕно 04.09.72(2l) 1827709/26-21 (g ) y с присоединением заявки № (23) Приоритет—

G- 01 1 31/02

К 05k 13/00

Г00уднр0тнннный н0интнт

Соната Мннн0трав СССР

00 днльм н30ФРВтнннй н 0ТKPblYHk (43) Опубликовано 25.08.75,бюллетень № 31 (53) УДК

1 ((45) Дата опубликования описания 23.01.76„" 621,396,6.002.7(088.8) (72) Авторы

B. H. Казарцев, М. Г. Шкуратяный, И. И. Усл,н (71)Заявитель

ЗОНДОВОЕ УСТРОИСТВО

Изобретение относится к области ра.: диотехники и мсжет быть использовано в устройствах для измерения поверхностного сопротивления тонких пленок, нанесенных термическим испарением в вакууме в производстве интегральных микросхем.

Известные зондовые устройства, со- держашие корпус, насадку и подпружиненные стержневые зонды, имеют продольный прогиб, создаювций погрешности при измерении и вызывающий быстрый износ у стройства.

Herb изобретения — уменьшить про-| ио зондов и повысить точность измерений.

Это достигается тем, что каждый зонд размешен в направляющей, выпоппепноЙ H Виде зафиксированной в корпуГс» диэлектрической трубки, и снабжен р»-зьбоной втулкой, спуж пцей для регунирования величины давления зонда при ь i »и Г<1К Гцровании.

il;! !!.ртеже изображено предлагаемое лшп : »: устройство.

Оно содержит насадку 1, зонды 2, выполненные из вольфрамовой проволоки, нижние концы которых проходят через рубиновые втулки для перпендикулярного расположения зондов 2 и постоянного межцентрового расстояния между зондами 2, а верхние концы размещены в направляюгцих 3, каждая из которых выполнена в виде диэлектрической трубочки, напр» мер стеклянной, зафиксированной в конусе 4 корпуса 5 при помоши эпок с идно и смол ы.

Каждый зопд 2 снабжен направляюй шей 6, выполненной, например, из фтороппаста, фпанпем 7, спаянным с зондом 2 и выводным проводником, пружиной 8, резьбовой втулкой 9, шайбой-изоО пятором 1 0, упором 1 1 и контргаЙкой

12, служащими для регулировки давления зонда при контактировании.

Компенсацию при износе зондов 2 производят ввинчиванием резьбовой втун ки 9 в корпус 5.

Зондовое устройство крепится на под. ставке, обеспечиваюшей подъем и опуск;шие «(о до упора.

Ра<отает зондовое устройство след у юши м образом.

B начале контактирования зонды 2, и llblTblBBH давление от измеряемой поверхности, частично погружаются в нас дку 1 за счет компенсации пружин 8, т. <-. исключаются погрешности от неперпендпку!ирности оси зондового устройств» к измеряемой поверхности, а также от разности длин зондов. Затем зондовое устройство включают в схему измерения, Предмет изобретения

Зондовое устройство, преимущественно для контроля поверхностного сопротивления тонких пленок, содержашее корпус, насадку и под пру жи пенн ые стер жнев ые зонды, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с целью уменьшения прогиба зондов и повышения точности измерений, !

О каждый зонд размешен в виде зафиксированной в корпусе диэлектрической трубки, и снабжен резьбовой втулкой, служашей для регулирования величины давления зондов при контактировании..! а к а а < „Я g! << !) <<;к! !олли<ч<о„ - 4!!1!! !!11!И Оо

" -У 43Р< -Tае«ного к<> «; <,, о<., ":<, <,<,о< <:-l d Ми<я«тр д< л«м и <иС;.«ге«,<й « ! В 1, I а>««кая и;6., 4 !

1«

1,; 1,, 11;:,И:"-.;, 1-„

», 1< к к;<, ;)<1, ъ, -...,, !1<1< кко«< как «а6