Вакуумная ловушка
Изобретение м. б. использовано в устройствах , не позволяющих парам масла попадать в рабочие объемы вакуумны.х камер. Цель изобретения - повышение защитной способности вакуумной ловущки. Промежуточная цилиндрическая обечайка (ПЦО) состоит из плотно прилегающих друг к другу колец 5. Верхний торец 6 ПЦС) распо.южен относительно корнуса 1 с зазором. Нижняя часть ПЦО имеет утоненный участок, соединенный при помощи прокладки 8 из си.-щкоиовой резины или тефлона с днищем корпуса. Винтовое ребро 9, расположенное на наружной поверхности внутренней цилиндрической емкости 4, соединено с ПЦО, а входной и выходной патрубки 2 и 3 распо.южены по разные стороны от нее. Винтовой канал между емкостью 4 и ПЦО обеспечивает многократное изменение направления движения паров масла и увеличивает д.чительность прохождения каждой молеку.1ой пути в столкновениях с охлаждаемыми поверхностями емкости 4, ребра 9 и ПЦО. 2 и.ч. S (Л со со Х) 00
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ÄÄSUÄÄ 1341398 д1) 4 Г 04 Г 9/06
А1
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А ВТОРСКОМ,Ф СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
00 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3958332/25-06 (22) 27.09.85 (46) 30.09.87. Бюл. № 36 (72) Б. П. Вараксин (53) 621.527 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 819416, кл. F 04 F 9/06, 1977. (54) ВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение м. б. использовано в устройствах, не позволяющих парам масла попадать в рабочие объемы вакуумных камер.
Цель изобретения — повышение защитной способности вакуумной ловушки. Промежуточная цилиндрическая обечайка (ПЦО) состоит из плотно прилегаюших друг к другу колец 5. Верхний торец 6 ПЦО расположен относительно корпуса с зазором. Нижняя часть ПЦО имеет утоненный участок, соединенный при помощи прокладки 8 из силиконовой резины или тефлона с днищем корпуса.
Винтовое ребро 9, расположенное на наружной поверхности внутренней цилиндрической емкости 4, соединено с ПЦО, а входной и выходной патрубки 2 и 3 расположены по разные стороны от нее. Винтовой канал между емкостью 4 и ПЦО обеспечивает многократное изменение направления движения паров масла и увеличивает длительность прохождения каждой молекулой пути и столкновениях с охлаждаемыми поверхностями емкости 4, ребра 9 и ПЦО. 2 ил.
134!398
40 составитель Э. Могильницкая
Редактор М. Ьандуры Тсхред И..Верее Корректор Н. Король
Заказ 44! 7, 40 Тираж 574 Гlодписное
Вl!ИИ!111 осударсгвенного комитета (Х(.Р во делам изобретений и открытий
113035, Москвы, Ж вЂ” 35, Раугнская наб, д. 4/5! lрои водсгвенно-п н1игрыфин< скос предприятие, г. Ужгород, ул. Г!роектная, 4
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в зацгитных устройствах, не позволяющих парам масла попадать в рабочие объемы вакуумных камер.
Целью изобретения является повышение защитной способности вакуумной ловушки.
На фиг. 1 представлена вакуумная ловушка, общий вид; на фиг. 2 — узел 1 на фиг. 1.
Вакуумная ловушка содержит корпус 1 с входным и выходным патрубками 2, 3 и соединенную с корпусом 1 в верхней части внутреннюю цилиндрическую емкость 4 с криогенной жидкостью, промежуточнуK) цилиндрическую обечайку, состоящую из плотно прилегающих одно к другому колец 5, верхний торец 6 которой расположен относительно корпус 1еред началом работы ловушки в цилиндрическую емкость 4 заливают криогеннук> жндкос1ь, например жидкий азс>т, Который охлаждает до низких гемператур винтовое ребро 9 и прохгежуточнун) цилиндрическую обечайку, состоящуlo из колеll 5. Через патрубок 3 производится откачка вакуумной магистрали форвакуумным насoсом. а через патрубок 2 в ловушку !1оступа T откачиваемый газ. Проходя через винтовой канал ловушки, а затем между корпусом 1 ловушки и промежуточной обечайкой. пары масла адсорбирукiтся на охлажд;ц мых floверхностях винтовогo ребра 9, цилиндрической емкости 4 и промежуточной обечайки. ВыполнеIIH(нромежугочной об "IHIIKII из отдельныx колец 5 служиT для лучшсй iåll ловой связи обечайKè с oхлажда(м(Й криогенной жидкосяью цилиндри «ской емколью 4 и, кроме того, для об(свечения качественной пайки по всему винто(ьгму реб2 ру 9. На нижнем кольце делается утонение 7 для тепловой развязки промежуточной обечайки с корпусом 1. Для этой цели служит и прокладка 8 из силиконовой резины или тефлона, т. е. из материалов, работающих при криогенных температурах, а при сборке ловушки прокладка обеспечивает плотное прилегание промежуточной цилиндрической обечайки к нижней части ловушки, что заставляет газовый поток и пары масла двигаться вертикально вдоль винтового ребра 9. В верхней части ловушки промежуточная цилиндрическая обечайка обеспечивает зазор для прохождения через него газового потока и паров масла и дальнейшего их движения в нижнюю часть ловушки. Таким образом, предлагаемая ловушка повышает эффективность адсорбции паров масла за счет винтового канала между внутренней цилиндрической емкостью 4 и промежуточной цилиндрической обечайкой, который обеспечивает многократное изменение направления движения паров масла и увеличивает длительность прохождения каждой молекулой пути в столкновениях с охлаждаемыми поверхностями цилиндрической емкости 4, винтового ребра 9 и промежуточной обечайки. Формула изобрегенггя Вакуумная ловушка, содержащая корпус с входным и выходным цатрубками и соединенную с корпусом в верхней части внутреннюю цилиндрическую емкость с криогенной жидкостью, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитной способности, ловушка дополнительно содержит промежуточную цилиндрическую обечайку, состоягцую из плотно прилегающих одно к другому колец, верхний торец которой расположен относительно корпуса с зазором, а нижняя часть имеет утоненный участок, соединенный при помощи прокладки из силиконовой резины или тефлона с днищем корпуса, внутренняя емкость снабжена размещенным на ее наружной поверхности винтовым ребром, соединенным с обечайкой, а патрубки расположены llo разные стороны от нее.
