Защитное устройство

 

Изобретение м.б. использовано для предотвращения.попадания паров масла и продуктов его разложения в откачиваемый объем. Цель изобретения - повышение запщтной способности устр-ва. В корпусе размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловутпка, нагреватель 2 и запорное устр-во с приводом. Защитное устр-во выполнено жалюзийного типа Привод выполнен в виде связанного штоком с жалюзи (Ж) 4 электромагнита с механизмом закрытия Ж 4. Ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя 2 и установленных на Ж 4 пластин.6 из геттерного материала.. Шток снабжен механическим демпфером и соединен с Ж 4 посредством кулисного механизма. Электромагнит со штоком соединен с возможностью изменения величины хода штока 3. Установка заданного угла раскрытия Ж 4 в зависимости от условий работы изменением величины хода штока повышает вероятность столкновения молекул масла с поверхностью геттера и диссоциации молекул. 3 з.п ф-лы, 3 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1442? 11

Ai (sD 4 F 04 Р 9/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н A BTOPCHGMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4238800/25-29 (22) 30.04.87 (46) 07 ° 12 ° 88 ° Бюл. № 45 (72) 10.Н. Булычев, В.А. Кошелев, Н.Г. Макаров, В.П. Сборец, В.А. Сорокоумов и А.Я. Яблонский (53) 621.516(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 193670, кл. F 04 F 9/04, 1965-. (54) ЗАЩИТНОЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение м.б. использовано для предотвращения .попадания паров масла и продуктов его разложения в откачиваемый объем. Цель изобретения — повышение защитной способности устр-ва. В корпусе размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловушка, нагреватель 2 и запорное устр-во с приводом. Защитное устр-во выполнено жалюзийного типа. Привод выполнен в виде связанного штоком. с жалюзи (Ж) 4 электромагнита с механизмом закрытия Ж 4. Ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя 2 и установленных на Ж 4 пластин.6 из геттерного материала, Шток снабжен механическим демпфером и соединен с Ж 4 посредством кулисного механизма. Электромагнит со штоком соединен с возможностью изменения величины хода штока

3. Установка заданного угла раскрытия Ж 4 в зависимости от условий работы изменением величины хода штока повышает вероятность столкнове- Я ния молекул масла с поверхностью геттера и диссоциации молекул. 3 з.п ф-JIbI 3 H3I

С:

14427 11

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в устройствах для предотвращения попадания паров масла и продуктов его разложения в откачиваемый объем.

Цель изобретения — повышение защитной способности устройства.

На фиг. 1 приведено защитное уст- 10 ройство, общий вид; на фиг. 2 — сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 сечение Б-Б на фиг. 1.

Защитное устройство для предотвращения попадания паров масла и про- 15 дуктов его разложения в откачиваемый объем содержит корпус 1, в котором размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловушка, нагреватель 2 и запорное устройство с при- 20 водом, причем защитное устройство выполнено жалюзийного типа, привод выполнен в виде связанного штоком 3 с жалюзи 4 электромагнита 5 с мехаI низмом закрытия жалюзи 4, а геттерная ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя

2 и установленных на жалюзи 4 пластин

6 из геттерного материала.

При этом шток 3 привода снабжен 30 механическим демпфером 7. Шток 3 может быть соединен с жалюзи 4 посредством кулисного механизма 8.

Электромагнит 5 с штоком 3 может быть соединен с воэможностью измене- 55 ния величины хода штока 3. Шток 3 введен в корпус устройства с помощью сильфона 9, а изменение хода штока

3 регулируется с помощью отверстий

10 в нем и штифтом 11. 40

Защитное устройство работает следующим образом, Вакуумный объем предварительно откачивается средствами форвакуумной откачки, после чего отключается элек-45 тромагнит 5 и жалюзи 4 закрываются.

При этом выделяющиеся в большом количестве пары масла во время запуска диффузионного насоса не проходят в откачиваемый объем и не загрязняют геттерный материал до начала непо50 средственной работы устройства. IIoдается питание на нагреватель 2, и жалюзи 4 нагреваются до рабочей температуры. В зависимости от режима работы выбирается определенный угол

55 раскрытия жалюзи 4 за счет изменения хода штока 3. После выхода на режим диффузионного насоса (не показан) подается питание на электромагнит 5. Кулиса 8 поворачивается, и жалюзи 4 открываются. Так как многие геттерные материалы имеют повышенную хрупкость, то для уменьшения ударных нагрузок используется механический демпфер 7, жестко соединенный с штоком 3.

Перед выключением паромасляного насоса (не показан) отключается питание электромагнита 5, сильфон 9 возвращает шток в исходное положение и жалюзи 4 закрываются. После закрытия жалюзи 4 отключается диффузионный насос, а после его охлаждения выключается нагреватель 2.

Предлагаемое изобретение значительно снижает обратный поток паров масла, fàê как разлагает большинство молекул масла, попадающих в защитное устройство от насоса. Снижение динамических нагрузок при срабатывании электромагнита и изменение скорости поворота жалюзи 4 посредством кулисного механизма 8 повышает долговечность полос из геттерного материала. Установка заданного угла раскрытия жалюзи 4 в зависимости от условий работы изменением величины хода штока 3 повышает вероятность столкновения молекул масла с поверхностью геттера и диссоциации молекул. Закрытие жалюзи 4 защитного устройства в случае аварийного отключения электропитания предотвращает попадание масла в откачиваемый объем.

Формула и з обретения

1. Защитное устройство для предотвращения .попадания паров масла и продуктов его разложения в откачиваемый объем, содержащее корпус, в котором размещены охлаждаемая высоковакуумная геттерная ловушка, нагреватель и запорное устройство с приводом, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения защитной способности устройства, защитное устройство выполнено жалюзийного типа, привод выполнен в виде связанного штоком с жалюзи электромагнита с механизмомзакрытия жалюзи, а геттерная ловушка выполнена в виде расположенных по обе стороны от нагревателя и установ- ленных на жалюзи пластин иэ геттерного материала.

2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что шток привода снабжен механическим демпфером.

1442711

Составитель Е.Забугин

Техред H. Ходанич

Корректор Н.Король

Редактор Н.Тупица

Заказ 6365/31

Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4

3. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что шток соединен с жалюзи посредством кулисного механизма.

4. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что электромагнит с штоком .соединен с воэможностью изменения величины хода штока.