Форвакуумная криогенная ловушка

 

Изобретение относится к вакуумной технике и м.б, использовано в системах форвакуумной откачки. Цель Изобретения - повышение защитных свойств ловушки и снижение эксплуатационных расходов. Вертикальный корпус со съемной крышкой 2 снабжен входным и выходным патрубками (П) 3 и 4. Сосуд 5 с криогенной жидкостью размещен в корпусе 1 и закреплен на крышке 2. Внешний экран 7 из газопроницаемого высокотемпературного проводного материала установлен на сосуде 5 с образованием входной полости 6. Сильфон 8 с фланцем 9 подсоединен к П 4. Внутренний газопроницаемый теплопроводный экран выполнен в виде ориентированной днищем вверх емкости 10, размещенной с образованием промежуточной полости 11 с внутренними стенками 12 сосуда 5. Сосуд 5 выполнен в виде кольцевого стакана 13, В стенках стакана 1 3 выполнены сквозные окна 15,сообщающие полости 6 и 11. Корпус 1 снабжен нижней съемной крышкой 16, на к-рой установлены П 4 и сильфон 8 с фланцем 9. Фланец, 9 контактирует с экраном 10. П 3 размещен посредине высоты экрана 7. Экран 7 выполнен из чередующихся газопроницаемых и сплошных высркотеплопроводных участков , контактирующих со стаканом 13. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. 2 S сл .7

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) А1 (50 4 F 04 F 9 06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

M АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

8.:-,—: - „„

Г

« "13 !

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 4236155/25-29 (22) 24.04.87 (46) 30.03.89. Бюл. Р 12 (72) IO.В.Апейник, Н.Н.Тарасов, :Е.В.Чубаров и В.И.Куприянов (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1199979, кл. Г 04 Р 9/06, 1984. (54) ФОРВАКУУМНАЯ КРИОГЕННАЯ ЛОВУШКА (57) Изобретение относится к вакуумI ной технике и м.б. использовано в системах форвакуумной откачки. Цель изобретения — повышение защитных свойств ловушки и снижение эксплуатационных расходов. Вертикальный корпус со съемной крышкой 2 снабжен входным и выходным патрубками (П) 3 и 4. Сосуд 5 с криогенной жидкостью размещен в корпусе 1 и закреплен на крышке 2. Внешний экран 7 иэ газопроницаемого высокотемпературного проводного материала установлен на сосуде 5 с образованием входной полости 6. Сильфон 8 с фланцем 9 подсоединен к П 4.Внутренний газопроницаемый теплопроводный экран выполнен в виде ориентированной днищем вверх емкости 10, размещенной с образованием промежуточной полости 11 с внутренними стенками 12 сосуда 5. Сосуд 5 выполнен в виде кольцевого стакана 13. В стенках стакана 13 выполнены сквозные окна 15,сообщающие полости 6 и 11. Корпус 1 снабжен нижней съемной крьппкой 16, на к-рой установлены П 4 и сильфон 8 с фланцем 9. Фланец, 9 контактирует с экраном 10. П 3 размещен посредине высоты экрана 7. Экран 7 выполнен из чередующихся газопроницаемых и сплошных высокотеплопроводных участков, контактирующих со стаканом 13.

1 з.п. ф-лы, 2 ил. 469214

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в системах форвакуумной откачки.

Цель изобретения — повышение защитных свойств ловушки и снижение эксплуатационных расходов.

На фиг.1 изображена ловушка, продольный разрез на фиг.2 — разрез

А-A на фиг.1. 1Q

Форвакуумная криогенная ловушка содержит вертикальный корпус 1 со съемной верхней крьппкой 2, снабжен! ный входным патрубком 3 и выходным патрубком 4, размещенный в корпусе 1 и закрепленный на крьппке 2 сосуд 5 с криогенной жидкостью, установленный на сосуде 5 с образованием входной полости 6 внешний экран 7 из газопроницаемого высокотеплопровод- 20 ного матер. зла. и сильфон 8 с фланцем 9, подсоединенный к выходному патрубку 4. Ловушка дополнительно содержит внутренний газопроницаемый нысокотеплопронодный экран, выполнен- 25 ный в виде ориентированной днищем вверх емкости 10> образующей с внутренними стенками 12 сосуда 5 промежуточную полость 11. Сосуд 5 выпол.нен в виде кольцевого стакана 13 и 30 закрепленной на стакане 13 разъемным теплопроводным соединением 14 в нижней части. В стенках стакана 13 выполнены сквозные окна 15, сообщающие входную 6 и промежуточную 1 1 по- 3g лости. Корпус 1 снабжен нижней съемной крышкой !16, на которой установлены выходной патрубок 4 и сильфон 8 с фланцем 9, контактирующим с внутренним экраном 10, а входной патрубок 3 40 размещен посредине высоты внешнего экрана 7.

Кроме того, внутренний экран может быть выполнен из чередующихся газопроницаемых 17 и сплошных 18 высокотеплопроводных участков, контактирующих с кольцевым стаканом 13. Внешний экран 7 закреплен на стакане 13 при помощи ребер 19, а фланец 9 контактирует с емкостью 10 через уплот0 нение 20 °

Ловушка работает следующим образом.

Через входной патрубок 3 в пространство между корпусом 1 и внешним экраном поступает откачиваемый газ.

В промежуточную полость 6 газ может попасть только через экран 7. Проходя через охлажденную пористую структуру высокотеплопроводного материала экрана 7, откачиваемый газ контактирует с охлаждаемыми поверхностями, н результате чего в них эффектно вымораживаются содержащиеся в газе пары воды. Оставшиеся несконденсированными водяные пары нымораживаются на стенках кольцевого стакана 13 и на внутреннем экране, что повышает защитные свойства ловушки.

Охлаждение внешнего экрана 7 обеспечивается при помощи теплопроводных ребер 19, установленных на стакане 13. Для обеспечения равномерного ныморажинания паров воды на всей поверхности экрана 7 входной патрубок 3 размещен посредине высоты внешнего экрана 7. Вследствие этого газ равномерно поступает в полость 6 через всю пористую поверхность экрана 7. Из полости 6 газ через сквозные окна 15 поступает в полость i1 и отводится через пористую емкость 10, сильфон 8 и выходной патрубок 4 во внешнее средство откачки (не показано). Пары рабочей жидкости, мигрирующие из средства откачки и двигающиеся навстречу откачиваемому газу, вымораживаются на охлаждаемой поверхности пористого высокотеплопроводного материала внутреннего экрана. Для эффективного вымораживания этих паров достаточна существенно менее плотная газопроницаемая структура емкости 10 по сравнению со структурой внешнего экрана 7. Это предотвращает перекрытие пор емкости 10 конденсатом паров рабочей жидкости и обеспечивает беспрепятственное прохождение откачиваемого газа. Равномерное охлаждение емкости 10 обеспечивается отводом тепла от нее к стакану 13.

Уплотнение 20, фланец 9 и сильфон 8 отделяют полости 6 и 11 от внутреннего пространства ловушки, сообщенного с входным патрубком 3. Сильфон 8 обеспечивает поджатие уплотнения 20 к емкости 10. При очистке ловушки снимают крьппку 16 и сильфон 8 с фланцем 9, после чего вынимают емкость 10 для удаления конденсата паров рабочей жидкости, а после съема верхней крьппки 2 удаляют конденсат воды с внешнего экрана 7.

Использование предлагаемой ловушки позволяет повысить надежность ее работы в широком диапазоне давле1469214 ний и улучшить ее эксплуатационные свойства °

Формула и з о б р е т е н и я

Составитель Е.Забугин

Техред М.Дидык Корректор М.Васильева

Редактор Л.Пчолинская

Заказ 1339/40

Подписное

Тираж 520

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

1. Форвакуумная криогенная ловушка, содержащая вертикальный корпус Lо съемной верхней крышкой, снабженный входным и выходным патрубками, 10 размещенный в корпусе и закрепленный на крышке сосуд с криогенной жидкостью, установленный на сосуде . с образованием входной полости внеш-! ний экран иэ гаэопроницаемого высоко- 15 температурного проводного материала, и сильфон с фпанцем, подсоединенный к выходному патрубку, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения защитных свойств ловушки 20 и снижения эксплуатационных расходов, ловушка дополнительно содержит внут-! . ренний газопроницаемый высокотеплопроводный экран, выполненный в виде ориентированной днищем вверх емкости, размещенной с образованием промежуточной полости с внутренними стенками сосуда, выполненного в виде кольцевого стакана, и закрепленной на последнем разъемным теплопроводным соединением в нижней части, в стенках стакана выполнены сквозные окна, сообщающие входную и промежуточные полости, корпус снабжен нижней съемной крышкой, на которой установлены выходной патрубок и сильфон с фланцем, контактирующим с внутренним экраном, а входной патрубок размещен посередине высоты внешнего экрана.

2. Ловушка по п.1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что внутренний экран выполнен из чередующихся между собой газопроницаемых и сплошных высокотеплопроводных участков, контактирующих с кольцевым стаканом.