Привод микроперемещений

 

О П И С А Н И Е 340796

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетсних

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 12.I.1970 (№ 1399526/25-8) с присоединением заявки №

Приор,итет

Опубликовано 05.VI.1972. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 23.VI.1972

М. Кл. F 15Ь 15/02

Комитет по делам иаебретеиий и открытий при Спеете Мииистрсе

СССР

УДК 62-82(088,8) Авторы изобретения М. Ф. Агашин, В. И. Аксенов, В. Н. Кузнецов и С. В. Львов

Заявитель

» s »о »% . «т » Я ... т :" » т

a ° a: 1 р)," 6 1С:

-. хт

ПРИВОД МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Изобретение относится к .области станкостроения и может применяться, например, для точного позиционирования узлов станков.

Известен привод микроперемещений, выполненный в виде гидростатической опоры, на входе в противоположные карманы которой установлен ы регулируем ые дроссели.

В предлагаемом приводе, с целью увеличения рабочего диапазона перемещения привода при незначительном расходе жидкости, гидростатическая опора выполнена в виде упорного подшипника, на валу которого по обе стороны от подвижного диска установлены два разделительных диска.

Кроме того, с целью;исключения перекосов разделительных дисков,,на,каждом из,н Ix co стороны, обращенной к подвижному диску, вьеполнеяы три связанных между собой кармана.

На фиг. 1 показан предлагаемый привод; па фиг. 2 — схема управляющего устройства привода; на фиг. 3 и 4 представлен вид на разделительный, диск, соответственно, со стороны неподвижного и подвижного дисков.

Привод состоит из,гидростатического упорного подшипника, имеющего вращающийся и перемещающийся в осевом направлении диск

1, два неподвижных диска 2 и 8, соединенных защитным цилиндром 4. В не подвижных дисках запрессованы втулки 5, выполняющие роль радиальных подшипников и уплотнений.

Между вращающимся диском 1 и неподвижными дисками 2 и 8 на валу б установлены свободно разделительные диски 7 и 8.

5 В дисках 2 и 8 в ыполнены каналы а и б, через которые подводится жидкость от управляющего устройства к карманам гидростатической опоры.

У правляющее устройство содержит элект10 ромагнит 9 с заслонкой 10, расположенной между двумя соплами П. Последние образуют с дросселями 12 постоянного со противления гидравлический мост, являющийся первым каскадом у правления. Во втором каска15 де управления между двумя корпусами 18 зажата мембрана 14, являющаяся заслонкой для двух сопл 15.

На каждом из,подвижных дисков 7 и 8 со стороны неподвижных дисков 2 и 8 выполнен

20 кольцевой карман lб и со стороны подвижного .диска 1 — три связанных между собой кармана 17.

Привод работает следующим образом.

При отсутствии сигнала на электромагните

25 9 привод микроперемещений работает кзк о»бычный упорный подшипник. Масло от насоса проходит через регулируемые дроссели, образованные соплами 15 и мембраной 14, и далее через каналы а и б попадает в карма30 ны lб.

340796

3

При,перекосе диска 7 или 8 зазор между промежуточным диском и неподвижным, предположим, для одной канавки увеличится, а между диском 1 и тем же промежуточным диском уменьшится, но увеличение зазора между не подвижным и промежуточным дисками в ызывает увеличение расхода жидкости в соответствующий краман между вращающимся и промежуточным дисками, что ведет к восстановлению правильного положения промежуточного диска.

При,подаче на электромагнит 9 управляющего сигнала заслонка 10 отклоняется в соответствующую сторону и нарушает равновесие,гидравлического моста, образованного сопротивлениями сопл 11 и дросселей 12. В камерах управления, образованных корпусами 18, мембраной 14 н наружной частью сильфонов 18, появляется перепад давлений, под действием которого мембрана 14 изгибается и из меняет гидравлические со противления между мембраной 14 и соплами 15. Например, сопротивление правого зазора увеличивается, а левопо, соответственно, уменьшается. Тогда нарушается равновесие гидравлического моста, образованного сопротивлениями зазоров между мембраной 14;и соплами

15 и сопротивлениями зазоров гидростатического упорного подшипника по одну сторону вращающегося диска 1 и по другую.

Под действием неуравновешенной силы подвижный диск 1 смещается в права, пока равновесие моста вновь не восстановится. Поскольку уменьшение или увеличение зазора

5 между неподвижным и промежуточным дисками вызывает соответствующие изменения количества жидкости, подводимой в карман между подвижным и промежуточным дисками, то зазор между ними изменяется в том

10 же направлении, что и зазор между неподвижным и промежуточным дисками.

Предмет изобретения

1. Привод микроперемещений, .выполненный

15 в виде гидростатической опоры, на входе в противоположные карманы которой установлены регулируемые дроссели, связанные с у правляющим устройством, отличающийся тем, что, с целью увеличения рабочего диапа20 зона перемещения привода при незначительном увеличении расхода жидкости, гидростатическая опора,в ыполнена в виде упорного подшипника, на валу которого по обе стороны от подвижного диска установлены два

25 р азделительных диска.

2. Привод по п, 1, отличающийся тем, что, с целью исключения перекосов разделительных дисков, на каждом из них со сторон ы, обращенной к подвижному диску, выполнен ы з0 три связанных между собой кармана.

340796

Фиг. 5

Риг.9

Составитель М. Сакова

Техред 3. Тараненко

Редактор T. Баранова

Корерктор Е. Жаворонкова

Заказ 1824/14 Изд. № 770 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2