Устройство для загрузки и транспортирования изделий

 

Союз Советских

Социвлисти4еских

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<"> 482836 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07.01.74 (21) 1985300/26-25 с присоединением заявки №вЂ” (51) М. Кл. Н Oll 7/68

Государственный комите.

Савета Министров СССР во делам изобретений и открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 30.08.75

Бюллетень ¹ 32 (53) УДК 621.382(088.8) Дата опубликования описания 17.05.?6. (72) Авторы изобретения

В. Н. Комаров и В. Г. Алейников (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ

И ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и предназначено для загрузки, транспортировки и хранения полупроводниковых кристаллов.

Известно устройство для загрузки и транспортирова ния изделий от одного вида оборудования к другому, содержащее ленточную кассету с основанием и несущим слоем, в котором ячейки выполнены по форме изделий для их удержания, загрузочное устройство с захватывающим органом и толкателем, совершающим возвратно-поступательные движения относительно основания. Кристаллы закрепляются на липком основании посредством связующих адгезивных веществ. При необходимости использования кристаллов на последующих операциях они подаются снизу толкателем-иглой через липкое основание, и вакуумная присоска отделяет кристалл от ленточной кассеты.

Недостатком известного устройства является то, что после каждой подачи липкого основания нарушается его целостность, а это приводит к необходимости постоянной замены, т. е. его невозможно использовать многократноо.

Цель изобретения — увеличение срока службы ленточной кассеты.

Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено дополнительными удер2 живающими ленточную кассету кулачками, кинематически связанными с толкателем, а ячейки в несущем слое выполнены в виде ступенчатого углубления, меньший диаметр d коз торого со стороны загрузки для деталей шириной b выбран по соотношению:

d = (2,5 —;4) p, b, где u — коэффициент Пуассона материала, из которого изготовлен несущий слой ленточной кассеты (пластмасса, 10 лавсан, капрон).

На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство, общий вид в процессе загрузки в ленточную кассету изделия; на фиг. 2 — вид ленты-кассеты в плане.

15 Устройство для загрузки и TpdBcIIopTHpoвания изделий состоит из ленточной кассеты с двумя слоями: основанием 1 и несущим слоем 2, в котором выполнены симметричные отверстия 3, со стороны загрузки, и 4 — со

20 стороны основания, образующие ступенчатое углубление Составной частью устройства является толкатель 5, кинематически связанный с кулачками 6 и инструментом-присоской 7. Толкатель имеет возможность возврат25 но-поступательного движения относительно основания ленточной кассеты. С помощью перфорации 8 ленточная кассета перемещается на шаг относительно позиции загрузки.

Работает устройство следующим образом. зо Прн включении привода устройства грей482836

Фиг. 2

Составитель Н. Осгровская

Редактор Н, Коляда Текред т. Курилко Корректор Л, Орлова

Заказ № 546 Изд № 1817 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

П3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

МОТ, Загорский филиал

3 ферный мехацизм (не показан) подает ленточную кассету на позицию загрузки. Толкатель 5, осуществляя подъем вверх, начинает деформировать основание 1 и несущий слой 2 ленточной кассеты. Одновременно с толкателем 5 кулачки 6 встречным поворотом произ водят подпор несущего слоя 2. Перемещаясь по ходу своего движения, толкатель 5 деформирует и растягивает отверстие 3 до размера, позволяющего загрузить в него изделие

9 инструментом-присоской 7. Деформация осуществляется без нарушения целостности ленточной кассеты, благодаря способности материала сопротивляться приложенным усилиям. После загрузки присоска 7 убирается, толкатель 5 возвращается в исходное положение, освобождая ленточную кассету от нагрузки. Углубления в несущем слое принимают пврвоначалыные размеры и изделие оказывается ориентированно загруженным и закрепленным в ленточной кассете. Затем ку4 лачки б делают обратный поворот, и весь цикл работы устройства повторяется.

Предмет изобретения

Устройство для загрузки и транспортирования изделий, например, полупроводниковых кристаллов, содержащее ленточную кассету с основанием и несущим слоем, в котором выполнены ячейки по форме изделий для их !

0 удержания, загрузочное устройство с захватом и толкателем, отличающееся тем, что, с целью увеличения срока службы ленточной кассеты, устройство снабжено удерживающими ленточную кассету кулачками, кинематиче15 ски связанными с толкателем, а ячейки в несущем слое выполнены в виде ступенчатого углубления, меньший диаметр d которого со стороны загрузки для деталей шириной b выбран по соотношению d = (2,5 —; 4)р,b, где

p — коэффициент Пуассона для упругих матер иалов.