Патент ссср 201484
2OI484
ОЛИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Ссюэ Советских
Социал истичсскик
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 10Х.1965 (№ 1007181/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опублико ва но 08,1Х.1967. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 20.XI.1967
Кл. 21а4, 75
МПК Н Оlп
УДК 539,234.08(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
А вторы изобретения
И. С. Лискер, Е. И. Черепов и В. М. Загоруйко
Институт математики Сибирское отделение АН СС
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК
Известные устройства для термического напыления пленок, содержащие вакуумную камеру, внутри которой размещены испаритель и напыляемая подложка, не обеспечивают достаточно высокого качества напыления.
В описываемом устройстве для термического напыления пленок повышение качества напыления достигнуто тем, что испаритель выполнен в виде двух, соединенных между собой цилиндрическим каналом, оканчивающимся дистанционно управляемым герметичным затвором, камер, одна из которых содержит испаряемый материал, а вторая снабжена выходным отверстием, служащим для выпуска из камеры паров напыляемого на подложку вещества.
Конструктивное выполнение устройства изображено l13 чертеже.
Внутри вакуумной камеры 1 размещен цилиндрический нагреватель 2. Внутри нагревателя 2 установлен испаритель, состоящий из двух камер 8 и 4. Камеру 8 загружают иопаряемым веществом 5. Камеры 8 и 4 сообщаются между собой посредством цилиндрического канала б, оканчивающегося герметичным затвором 7. Камера 4 снабжена выходным отверстием 8, служащим для выпуска из камеры паров 9 напыляемого на подложку 10 веще ств а 5.
Затвор 7 открывают после того, как давление насыщенного пара достигнет заданной величины, Через канал б пар из камеры 3 подает в камеру 4, и через отверстие 8 выходит из камеры 4, а достигнув подложки 10, образует на ней пленку 11.
Вследствие того, что оси канала 6 и отверстия 8 взаимно перпендикулярны, на
)Q подложку поступает только моноатомный пар, что позволяет повысить качество напыления пленок.
При достаточном давлении в камере 8 длительность процесса напыления может быть
15 доведена до сотых долей секунды, что позволяет снизить воздействие остаточных газов в гакуумной камере на свойство пленок и повысить производительность (экономичность работы устройства.
Предмет изобретения
Устройство для термического напыления пленок, содержащее вакуумную камеру, внутри которой размещены снабженный нагрева25 телем испаритель и напыляемая подложка, отличающееся тем, что, с целью повышения качества напыления, испаритель выполнен в виде двух, соединенных между собой цилиндрическим каналом, оканчивающимся дистан30 ционно управляемым герметичным затвором, 201484 верстием, служащим для выпуска из камеры гаров напыляемого на подложку вещества.
Составитель В, Агапов
Текред Т. П. Курилко
Редактор А. Эйдис
Заказ 3396/4 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитста по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пв. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 камер, одна из которых содержит испаряемый материал, а вторая снабжена выходным отКорректоры Л. В. Наделяева и С. Ф, Гоптаренко
