Патент ссср 256459

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

ОПИСАНИЕ

И ЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

256459

Союз Советскик

Социалистическил

Республик

Зависимое от авт. св идетельства №вЂ”

Заявлено 17.XI.1967 (№ 1197436/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

П,р и оритетвЂ”

Опубликовано 04.XI.1969. Бюллетень ¹ 34

Дата опубликования описания 31.VIII.1970

Кл. 48b, 13/08

Комитет по делам изовретеиий и открытий ори Совете Министров

СССР

МПК С 23с

УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения

В. Л. Големенков и А. Н. Жданов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕН ИЯ МЕТАЛЛОВ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известны устройства,для испарения металлов ia вакууме, содержащие термический испаритель, бункер и транспортирующее приспособление.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что бункер выполнен в виде сектора с пазами, а транспортирующее приспособление представляет собой проволочный захват.

Такое устройство позволяет испарять одновременно несколько навесок с одного испарителя.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид: на фиг. 2 вЂ” то же, вид в плане.

Устройство состоит из термического испарителя 1, сектора 2 с пазами и проволочного захвата 8. После перестановки подложки на новую позицию напыления оператор приводит толкатель в поступательное движение, который нажимает на зубчатый сектор б, приводя в движение шестерню б и вал 7, связанный с захватом 8. При этом захват 8 вынимает навеску 8 металла, выполненную,в виде многослойной пружины с отведенными концами, из пазов сектора 2 и переносит ее к термическому испарителю 1 до соприкосновения с горизонтальчо расположенной лодочкой, куда она и сбрасывается. При своем дальнейшем движении захват своими концами проталкивает навеску ,вдоль испарителя, чтобы предотвратить ее сброс с испарителя при движении его в обратном пап р авл енин.

При движении толкателя 4 в исходное положение, зубчатый сектор 5 под действием возвратной пружины 9 поворачивает шестер ню б и захват 8 против часовой стрелки, при этом в конце пути собачка 10, закрепленная на кронштейне захвата, поворачивает храповое колесо 11, а вместе с ним и сектор 2 на величину шага, равного расстоянию между навесками, и подводит навеску в место захвата ее отогнутыми концами захвата.

Устройство для испарения металлов в вакууме, содержащее термический испаритель, бункер и транспортирующее приспособление, отлачающееся тем, что, с целью испарения нескольких навссок с одного испарителя, бучкер выполнен в,впде сектора с пазами, а транспортирующее приспособление выполнено в виде проволочного захвата.

256459 ф

) б

Составитель И. Резник

Техред Т. П, Курилко Корректор Л. А. Царькова

Редактор Г. Маркелов

Заказ 274 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Раушская наб., д. 4!5.

Типография № 24 Главполиграфпрома, Москва, Г-19, ул. Маркса вЂ” Энгельса, 14.

Устройство для подачи порошковых материалов // 246263

Патент 234821 // 234821

Испаритель порошкообразных материалов // 210604

Патент 208408 // 208408

Патент 201484 // 201484

Патент 193251 // 193251

Патент 193250 // 193250

Способ нанесения тонких пленок // 188256

Патент 187855 // 187855

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме