Патент ссср 208408
О П И С А Н И Е 2884ОЗ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Соеетокиз
Социалиотичеокик
Республик
Vl
Ф
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 03,11.1967 (№ 1130763/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 29.Х11.1967. Бюллетень № 3
Дата опубликования описания 4.III.1968
Кл, 48Ь, 13/02
МПК С 23с
УДК 621.793.14:621.3.049. .7 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
А. М. Чеховской и В. С. Черняк
Заявитель
ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ КАМЕР ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ
ТОНКИХ ПЛЕНОК
Предмет изобретения
Известный испаритель для камер вакуумного напыления тонких пленок, например на подложки микросхем, выполненный в виде ленты из тугоплавкого металла, снабженной на концах токоподводами и охватывающей лодочку, в которую загружают испаряемый материал, не позволяет предотвратить разбрызгивание этого материала в процессе испарения, что в некоторых случаях может привести к браку.
В описываемом испарителе устранение разбрызгивания материала, загружаемого в испаритель, достигается тем, что лента свернута в рулон, витки рулона отделены один от другого металлическими прокладками, расположенными возле торцов рулона, токоподводы выполнены в виде хомутиков охватывающих концы рулона, а внутренняя полость рулона, служащая для загрузки испаряемого вещества, закрыта с торцов металлическими и р об к а ми.
На чертеже изображен описываемый испаритель в двух проекциях.
Лента 1 из тугоплавкого металла свернута в рулон, витки которого отделены один от другого металлическими прокладками 2, расположенными возле торцов рулона. На концах рулона установлены токоподводы 3 в виде хомутиков, Внутренняя полость Б, служащая для загрузки испаряемого материала, закрыта с торцов металлическими пробками 4.
Вследствие того, что пары проходят по спи5 pQ lи между раскаленными витками ленты, разбрызгивание материала сведено к минимуму. Для загрузки материала вынимают одну из пробок 4. Если требуется изменить направление напыления, рулон поворачивают в то10 коподводах 8.
Испаритель для камер вакуумного напы1 ления тонких пленок, например, на подложки микросхем, выполненный в виде ленты из тугоплавкого металла, снабженной на концах токоподводами, отличающийся тем, что, с целью устранения разбрызгивания материала, 20 загружаемого в испаритель, лента свернута в рулон, витки рулона отделены один от другого металлическими прокладками, расположенными возле торцов рулона, токоподводы выполнены в виде хомутиков, охватывающих
25 концы рулона, а внутренняя полость рулона, служащая для загрузки испаряемого вещества, закрыта с торцов металлическими пробками.
208408
Составитель Ю. Козлов
Редактор Н. О. Громов Техред T. П. Курилко Корректоры: М. П. Ромашова и В. П. Минеева
Заказ 60/8 Тираж 530 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
