Устройство для подачи порошковых материалов

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

О П И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Сооетскик

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48Ь, 13/08

Заявлено 15.XI.1967 (№ 1197258/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11 V1.1969. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 12.XI.1969

MIlK С 23с

УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Микистрсв

СССР

Авторы изобретения

Д. П. Колесников и С. A. Преображенский

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

В ИСПАРИТЕЛЬ

Предм ет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройсгво для подачи порошковых материалов в испаритель, содержащее бун кер, доз атор и пр и вод.

Предложенное устройство отличается от известного тем, чго бункер и дозатор выполнены в виде барабана с набором съемных зубчатых колец, на валу которого жестко закреплена ссыпная воронка.

Это обеспечивает равномерную скорость подачи порошковых материалов в испаритель.

На фиг. 1 показано описываемое устройство; на фиг. 2 вЂ” барабан в разрезе и профиль зубчатого кольца, остроугольный тип; на фиг. 3 вЂ” профиль зубчатого кольца, трапецевидный тип.

Устройство состоит из барабана 1 с набором съемных зубчатых колец 2, на валу которого жестко закреплена ссыпная воронка 8, и привода вращения 4 барабана. Профиль зубчатых колец может быть остроугольного типа (фиг. 2), трапецивидного типа (фиг. 3) или другого подобного типа. Во всех случаях необходимо, чтобы соотношение между углом Л несущей плоскости зуба относительно радиуса зубчатого кольца 2 и углом Б раствора секторной ссыпной воронки относительно центра барабана было Б ) 90-A.

Через отверстие в крышке барабана засыпается материал б. По достижении в вакуумной камере необходимого вакуума производится разогрев испарителя б, после чего приводится в дейсгвие привод вращения 4 барабана 1 и боек 7. Поднятый на зубчатых коль10 цах 2 материал ссыпается в ссыпную воронку

8 и по направляющему желобу 8 подается к испарителю б. Боек 7 служит для периодиче ского сотрясения барабана 1 с целью предупреждения залипания материала на стенках

15 вращающегося барабана.

Устройство для подачи порошковых мате20 риалов в испаритель, содержащее бункер, дозатор и привод, отличающееся тем, что, с целью обеспечения равномерной скорости подачи порошковых материалов, бункер и дозатор выполнены в виде барабана с набором

25 съемных зубчатых колец, на валу которого жестко закреплена ссыпная вопонка.

246263

Жиг 1

Составитель И. Резник

Заказ 2766/6

Типография, пр. Сапунова, 2

«Ри2 2

Редактор Н. Л. Корченко

Фиг. Д

Корректор С. М. Сигал

Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ

Устройство для подачи порошковых материалов

Похожие патенты:

Патент 234821 // 234821

Испаритель порошкообразных материалов // 210604

Патент 208408 // 208408

Патент 201484 // 201484

Патент 193251 // 193251

Патент 193250 // 193250

Способ нанесения тонких пленок // 188256

Патент 187855 // 187855

Устройство для изготовления тонкопленочных // 187854

Устройство для металлизации в вакууме // 178635

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме