Испаритель порошкообразных материалов

 

О П И С А Н И Е 2Ю604

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.IX.1963 (№ 953869/23-26) с присоединением заявки ¹

Приори гет

Опубликовано 6.11.1968. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 16.IV.1968

Кл. 48b, 13/12

МПК С 23с

УДК 621.793(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

К. С. Гельман и В. И. Смирнов

Заявитель

ИСПАРИТЕЛЬ ПОРОШКООБРАЗНЫХ МАТЕРИАЛОВ

Известен испаритель порошкообразных материалов, состоящий из нагревательного элемента, выполненного в виде спирали, внутрь которой вставлен тигель с испаряемым веществом. В таком испа рителе химический состав нспаряемого материала изменяется от одного напыления к другому, что ведет к плохой воспроиз водимости физических свойств пленок, скорость и поверхность испарения с расходом испаряемого материала изменяются, величина загрузки испаряемого материала ограничена.

Предложенный испаритель отличается от известного тем, что для воспроизводимости физических свойств напыляемых плено к, а также для обеспечения независимости скорости и поверхности испарения от расхода испаряемого материала, нагревательный элемент выполнен в виде перфорированной ленты, Кроме того, для равномерной подачи испаряемого материала к нагревательному элементу, механизм подачи представляет с0бою цилиндр с поршнем, На чертеже изображена схема испарителя.

Иопаритель содержит нагревательный элемент 1, выполненный в виде ленты из тугоплавкого материала (тантал, ниобий, молибден и т. д.) с отвер стиями в центральной части, цилиндр 2 для испаряемого материала с по ршнем 8, обеспечивающим равномерную подачу испаряемого материала к нагревательному элементу. Цилиндр с поршнем установлен под нагревательным элементом, а нагревательный элемент расположен между алундовыми кольцами 4. Кроме того, испаритель снабжен приводом 5 для перемещения поршня 8.

Испаритель работает следующим образом.

В цилиндр 2 загружают испаряемое вещество и на нагревательный элемент подают соответствующее напряжение (в зависимости от свойств испаряемого вещества). При этом с поверхности материала, находящейся в постоянном коятакте с нагревательным элементом, происходит непрерывное испарение этого вещества через отверстие в нагревательном

15 элементе.

Предмет изобретения

1. Испаритель порошкообразных материалов, содержащий нагревательный элемент, 20 емкость для испаряемого материала, отличающийся тем, что, с целью обеспечения воспроизводимости физических свойств напыляемых пленок и независимости скорости и поверхности испарения от расхода испаряемого

25 материала, нагревательный элемент выполнен в виде перфорированной ленты.

2. Испа ритель по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения равномерной подачи испаряемого материала к нагревательному

30 элементу, механизм подачи выполнен в виде цилиндра с поршнем.

210604

Составитель Ю. Паткин

Редактор Л. К. Ушакова Техред Л. К. Малова Корректоры: О. Б. Тюрина и Л. В. Наделяева

Заказ 600/15 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Испаритель порошкообразных материалов Испаритель порошкообразных материалов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме
Наверх