Устройство для испарения материалов в вакууме

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства М

Заявлено 08.XI I.1968 (№ 1288209/22-1) Кл. 48Ь, 13 08 с присоединением заявки М

Приоритет

МПК С 23с

УДК 621.793.14 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Сосете тлинистрее

СССР

Опубликовано 08.V.1970. Бюллстепь М 16

Дата опубликования описания 19Л III.1970

Автор изобретения

Ф. А. Коледа

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к вакуумному нанесению различных материалов, в частности к устройствам для испарения материалов при вакуумном нанесении тонких пленок, покрытий и т. и.

Известны устройства для испарения материалов в вакууме, содержащие обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилиндрическим терморадиационным экраном. Однако использование известных устройств приводит к значительному ухудшению вакуума в камере за счет газовыделения из нагреваемых деталей.

Предложенное устройство позволяет блокировать газовыделение из нагреваемых деталей, тем самым не изменяя вакуума в камере. Это достигается тем, что экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов, и в верхней части снабжен диафрагмой.

На чертеже изображено предложенное устройство.

Тигель 1 для испаряемого материала снабжен нагревателем 2 и окружен коаксиально расположенным экраном 8, выполненным в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов. В верхней части расположена диафрагма 4.

Набор съемных цилиндров, служащий для локального улавливания газов, может представлять собой, например, гсттерную, геттерно-ионную, криогенную, цеолптовую плп другую откачную систему.

При работе устройства набор цилиндров может быть заранее охлажден, например, в жидком азоте. Несмотря на ограниченную теплоемкость последнего эта операция целесообразна, так как основная масса газов выделяется в течение первых 2 вЂ” 3 .ипн работы пспарптельного устройства. После закладки испарясмого материала в тигель устанавливают предварительно охлажденньп< набор цилиндров и

15 диафрагму. Далее осущсствля or откачку камеры до высоксго вакуума, прп котором набор цилиндров сохраняет свою температуру достаточно долго. Прп нагреве пспаряемого материала диафрагма способствует локализации

20 выделяющихся I13 нагретых деталей газов, которые сорбируются внутренней поверхностью экрана.

25 Предмет изобретения

Устройство для испарения материалов в вакууме, содержащее обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилин30 дрическим экраном, отгичпкщееся тем, что, с

270432

Составитель Е. Кубасова

Редактор О. С. Филиппова Техред 3. Н. Тараненко Корректор H. А. Митрохина

Заказ 2209 7 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7I(-35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 целью блокирования газовыделения из нагреваемых деталей, экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов, и в в(рхней части снабжен диафрагмой.

Устройство для испарения материалов в вакууме

Патент 256459 // 256459

Устройство для напыления металлов в вакууме // 248420

Устройство для подачи порошковых материалов // 246263

Патент 234821 // 234821

Испаритель порошкообразных материалов // 210604

Патент 208408 // 208408

Патент 201484 // 201484

Патент 193251 // 193251

Патент 193250 // 193250

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме