Устройство для загрузки испарителей
Ймоввэм®
ИВтбнтвто-техн и чесееИЮ
Йфюатена MBA
270433
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства Мр
Кл. 48b, 13/08
Заявлено 24.Ч.1968 (№ 1242041/26-9) с присоединением заявки Ме
Приоритет
Опубликовано 08.Ч.1970. Бюллетень М 16
Дата опубликования описания !З.Ч111.!970
ЧПК С 23с 13/00
УДК 621.793.14.002.5 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения В. М. Парфенюк, А. В. Ворона, А. Н. Жданов и А. И. Матвейчук
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИСПАРИТЕЛЕЙ
Изобретение относится к технике изготовления микросхем методом вакуумного напьтлсния и предназначено для использования в вакуумных напылительных установках для загрузки испарителей распыляемым материалом.
Известны устройства для загрузки испарителей вакуумных напылительных установок, содержащие подающее устройство, рычаг, плоские пружины, барабан-храповик.
Предлагаемое устройство отличается от известных тем,. что корпус устройства соединен посредством плоских пружин с поворотным рычагом, а барабан-храповик снабжен гнездом, в которое входит плунжер.
Благодаря этому повышается надежность устройства.
На фиг. 1 изображено устройство в общем виде; на фиг. 2 — рычаг с подающим устройсгвом в разрезе.
На стойке 1 монтируют все детали устройства. На оси 2 стойки 1 на шарикоподшипниках д установлен рычаг 4, к которому через плоские пружины 5, б крепится корпус 7. На корпусе 7 смонтированы барабан-храповик 8, желоб 9 с экраном и подающее устройство. Подающее устройство состоит из плунжера 10, рычага 11, пружины 12. Для крепления устройства в вакуумной камере на стойке 1 имеется хомут, стягиваемый болтом 18.
Устройство работает следующим образом.
Толкатель ру шого привода, упираясь в рыаг 4, перемещает его относительно оси 2 стойки 1. Укрепленные на рычаге 4 посредством плоских пружин 5, б корпус 7, барабан. :раповик 8, желоб 9 с экраном также перемещаются в сторону испарителя. При этом пружина 14, закрепленная на стойке 1, упирается в зуб барабана-храповнка 8и провзра1р чпвает его па одну позицию.
Продолжая двигаться, корпус 7 упирается в ограничивающий винт 15 и останавливается.
При дальнейшем движении толкателя привода пружины 5, б деформируются, и винт 1б
15 рычага 4, упираясь в рычаг 11, приводит в движение плунх ер 10. Плунжер заходит в гнездо оарабана-храповика 8, выталкивая навсску в желоб 9 с экраном.
Навеска скатывается по желобу 9 с экраHом и попадает в испаритель. При обратном ходе толкателя ручного привода плунжер 10 и рычаг 11 возвращаются в исходное положение под действием пружин 12 и 17, желоб 9 экраном закрывает загрузочное отверстие в экране испарителя.
Так как в барабане-храповике имеется восемь гнезд с навесками испаряемого материала, то можно произвести восемь загрузок испарителя.
270433
Фиа.1
Тираж 480
Подписное
Заказ 2206/8
1 !Ili 1п (, пя, Ilp. Сапунова, 2
Предмет изобретения
Устройство для загрузки испарителей, например вакуумных напылительных камер, содержащее барабан-храповик, желоб и экран, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, экран закреплен на желобе, корпус устройства соединен посредством плоских пружин с поворотным рычагом, а барабан-храповик снабжен гнездом, в которое входит плунжер.
