Устройство для испарения покрытий в вакууме

 

О П И С А Н И Е 289623

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Соеетских

Социалистических

Респтблик

К ПАТЕНТУ

Зависимый от патента ¹

Заявлено 14.11.1969 (¹ 1308548j22-1)

Приоритет 14.11.19á8, х 139874. Франция

:11ПК С 23с 13/08

Комитет по делам изобретений и стиру!тий при Сосете Министров

СССР

УДК 621.793.014.002.5! (088.8) Опубликовано 08.Х11.1970. Б10л !осень .х . 1 за I Ji i

Дата опубликования описанп1! 11.II.!971

Автор изобретения

Иностранец

Жорж Галле (Франция) Иностранная фирма

<Компани Женераль д Электрисите> (Франция) Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ ПОКРЬ1ТИЙ 8 ВАКУУМЕ

11 p L,д .и L т и 3 О 0 p e Г е и и я

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известно устройство для испарения покрытий в ва кууме, содержащее испаритель и приспособление для зтагрева.

Предложенное устройство для испарения покрытия в вакууме отличается от известного наличием рефлектора, выполненного в виде кюветы, жестко соодиненного посредством пальцев с испарителем, !который выполнен в виде сужающейся кверху призмы со сквозной канавкой, расположенной В ее HII>I HLII часы.

При такой конструкции устройства повышается его нроизводительносгь и увеличивается срок службы.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство в HKcOH0метрии; на фиг. 2 — то же, по:!еречный разрез; на фиг. 3 — то же, продольный разрез.

Устройство состоит из испарителя l, выполненного в виде сужающейся кверху призмы Lî сквозной канавкой, расположенной в нижнсй ее части; прис;1особления для нагрева, выполненного в виде удлиненног0 стержня 2 из огнеупорного материала, и рефлектора 8, выполненного в зиде кюветы, жестко соединенного посредстзом пальцев 4 с испарителем.

Стержень 2 раоположен соосно с дном канавки,испарителя.

Алюминиевая проволока 5 нопрерывно НОдается с бобины 6 с помощью роликов 7 в зону 8 (см. фиг. 2 и 3) испаригеля 1, где образует тонкую ж:1дкую пленку. Расплавленный алюминий устремляется к наиоолее горячим зонам и непрерывно»ciiapileTcil c»epilферии наружной поверхности исиарителя, ограниченной ко !туром 9. 11спаритель рас!!Оложен над реф.че!;10рОхl 3 н;1 таком p lсс l Они и и, ч Г 0 0 ы к д н д он с а г d cI 10 ì è H H ii H L м 0 г с 0 зд;1Bd! b неже за1ельный 1ермически!! контакт межд1 иcпаpil ГLлt. .хl il pLôëåê1 Ором, К стерхкню - гок подводится посредством толкателя 1О и llldIIDbl 11, изготовленных из охлаждаемой меди и пересекающих боковые сгенки рефле«гора 3.

gp Ъ cTPOHство Дли IlcIIHPLHHH ИОНРы 1и!! В и;1кууме, содерж !щее испаритель .и приспособление для нагрева, от.;11чиюи1вегя тем, что, с целью повышен;!я производительности и увеличения срока службы, устройство о!1абжоно рефлектором, вы;!олненн ы м в ви.lc кюве гы, жестко соединенным посредством пальцев с пспарителем, выполненным в виде сужающейся кверху призмы со сквозной канавкой, расположенной в нижней части призмы, Составитель И, Резник

Редактор В. И. Борисова

Корректор Е. Н. Миронова

Изд. ¹ l9 Заказ 74 4 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета ио делам изобретении и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2