Электростатическая линза
Союз Советских
Социалистических
Республик
all NCAHHIE
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<,687491 (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.05. 78 (21) 2620373/18-2 с присоединением заявки М (23) Приоритет
Опубликовано 26, 09, 7 9, Бюллетень М 36 (51)M. Кл.
Н 01 J 29/1т;
Гаеударстввеме каеатет
СССР в делам взебретенае в атлрмтав (4) УИК 621.385 ° .832 (088.8 ) Дата опубликования описания 30.09. 79
{72) Авторы изобретения
А. А. Зайиев и Ф. М. Москаленко (7! ) Заявитель (S4) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ ЛИНЗА
Изобретение относится к электронным линзам, конкретнее к электростатическим линзам, и может быть использовано вэлектроннолучевых приборах для фокусировки пучка.
Известны электростатические осесим5 метричные линзы, образованные трубчатыми металлическими электродами, соединенными при помощи изоляторов(1). В приборах с высокой разрешающей способносто тью электроды должны быть изготовлены не ниже, чем по второму классу точности.
Это снижает технологичность конструкции, увеличивает ее стоимость и вес.
Наиболее близкой по технической сущт5 ности к изобретению является электростатическая линза, содержащая, по крайней мере, два соосных трубчатых электрода различного диаметра, образованных проводящими покрытиями на внутренней поверх20 ности подложек и отделенных один от другого изолирующими промежутками(2).
Больший иэ электродов нанесен непосредственно на внутреннюю поверхность стеклянной горловины прибора, а меньший из электродов нанесен на специально изготовленный стеклянный трубчатый элемент, соосный с горловиной и присоединенный к ней изнутри. В данной конструкпии линзы электрод меньшего диаметра не перекрывает изолирующего промежутка между электродами, что отрипательно сказывается на фокусировке пучка линзой зв счет влияния электростатического поля зарядов, наводимых нв пот ерхности изолятора. Кроме того, такое конструктивное выполнение электростатической линзы практически трудно осуществимо с высокой степенью точности и не технологично изэа наличия дополнительного спая стеклянных элементов.
ЕЬль изобретения — упростить конструкпию электростатической линзы при сохранении качества фокусировки.
Это достигается тем, что подложка выполнена таким образом, что электроды взаимно перекрывают один другой, а иэо3 6874 пирующие промежутки образованы поверхностью переходов между электродами.
На фиг. 1 изображена двухэлектродная линза, на фиг. 2 - трехэлектродная линза.
Электроды линзы образованы проводящим покрытием 1, нанесенным на внутренюю повефсность подложки 2. Переход между электродами свободен от проводящего покрытия и образует изолирующий промежуток. Электрод меньшего диаметра 1о
3 входит в электрод большего диаметра
4, являясь одновременно электростатическим экраном, предохраняющим пучок от влияния наведенных на изолирующей подложке зарядов. Потенциалы от внешних 15 источников подводятся к электродам через проводники, впаянные в изолятор или посредством контактных пружин, которые используются одновременно для закрепления других элементов электронного прожектораа
Электростатическая линза может быть изготовлена методом вакуумной калибровки стекла с последующим нанесением проводящих покрытий иа его внутреннюю поверхность. В этом случае обеспечивается соосность электродов и точность их иэгетовленияе
91 4
Предлагаемая электростатическая линза позволяет упростить конструкцию электронно-лучевого прибора, повысить его технологичность, вибропрочность и разрешающую способность.
Формула изобретения
Электростатическая линза, содержащая, по крайней мере, два соосных трубчатых электрода различного диаметра, образованных проводящими покрытиями на внутренней .поверхности подложек и отделенных один от другого изолирующими промежуч ками, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции при сохранении качества фокусировки, подложка выполнена так, что электроды взаимно перекрывают один другой, а изолирующие промежутки образованы поверхностью переходов между электродами.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент США ¹ 2732511, кл. 313-82, опублик. 1956.
2. Патент США ¹ 3023336, кл. 313-78, опублик. 1962, (прототип).
Сосъйвитель B. Гаврюшин
Рвпвкюр О. Станина Tsxpsn р. Фанта Корректор М, Bmró
Заказ 5.747/47 Тираж 923 Подписное
ЫНИИПИ Государственного комитета СССР по. делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент", r. Ужгород, уп, Проектная, 4
